CVD法碳化硅沉积项目

1.项目名称：CVD法碳化硅沉积项目
2.项目地址：江苏省徐州市经济技术开发区江苏中能硅业科技发展有限公司厂区内；
3.项目概况：a.建设规模：江苏中能硅业科技发展有限公司引进法国相关设备、技术，成立江苏协鑫特种材料科技有限公司，建设CVD法碳化硅沉积项目； b.生产车间及装置介绍：该项目拟建装置一套，共有两套系统组成，分别为石墨纯化系统、碳化硅沉积系统。项目产能为碳化硅涂层165炉，前期计划年产碳化硅涂层87炉，其中接外单10炉。由于该装置占地面积小，计划租用江苏中能硅业科技发展有限公司还原一期厂房，将装置安装于一期还原厂房的剩余空间内。石墨纯化系统由石墨纯化炉、液氯汽化系统、抽真空系统、氮气保护系统、废气洗涤系统组成。碳化硅沉积系统由碳化硅沉积炉、抽真空系统、氮气保护系统、管路置换系统原料汽化混合系统，废气处理系统组成。公用工程系统全部利旧；