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当废气进入等离子光氧一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子首先从电场获得能 量，通过激发或电离将能 量转移到分子或原子中去，获得能 量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活 性基团；之后这些活 性基团与分子或原子、活 性基团与活 性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。(在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安 全物质，或使有毒有害物质转变成无 毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。)然后部分有 机 废气再通过破坏、分 解、催化氧化把污染气体分 解为无 毒无害无味气体。采用高能C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，如水和二氧化碳等。O3强催化氧化剂进行废气催化氧化, 可有 效地杀灭细 菌，将有毒有害物质破坏且改变成为低分子无害物质。在C波段激光刺 激催化剂涂层产生活
性，强化催化氧化作用。在分 解过程中产生高能高臭氧UV紫外线光束分 解空气中的氧分子产生游离氧，即
性 氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2→O-+O*(活 性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有 机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺 激性异味有极强的清 除效果。O3也为强催化氧化剂进行废气催化氧化, 裂解恶臭气体中细 菌的分子键，破坏细 菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭 菌的目的。
废气处理设备工作原理
含尘气体通过管道，先进入等离子净化部分，净化后再进入光氧催化部分进行净化
1、等离子净化部分是原理是采用介质阻挡花冠放电技术，在空气湿度小于40%时，1米范围离子浓度大于160万，运用大流量变频高压电晕放电。在外加电场的作用下，介质放电产生大量携能电子轰击污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。
光氧催化废气净化是利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射恶臭气体，裂解恶臭气体如：磷化氢、氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类、苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2\H2O等。经过处理后的有机物分解为水（H2O）、二氧化碳(CO2)和低分子无臭无害化合物，在出风口的5米内能闻到淡淡的臭氧味，迅速溶于空气中，转化为氧气
