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1. 项目名称：科研仪器设备微纳加工刻蚀及薄膜沉积系统采购项目
2. 货物一览表：
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序号 |
货物名称 |
数量 |
简要规格描述 |
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1 |
▲反应离子刻蚀机（通用型） |
1 |
…… 2. 反应真空腔：铝制或不锈钢制，最大可处理8英寸样品，也可以处理小于8英寸的碎片样品；至少带一个观察窗，腔盖可以自动开启和关闭； 3. 电极：采用平行电极。上、下电极采用铝或不锈钢制，直径均大于等于200mm；下电极温度控制采用外置冷水机，温度控制范围20到25度； …… |
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2 |
▲反应离子刻蚀机（用于金属薄膜） |
1 |
…… 3. 预真空腔：铝制或不锈钢制，通过门阀和反应真空腔联通，通过自动真空机械手传送样品；使用干泵抽真空，该干泵可以与反应真空腔共用，抽速大于等于300升/分钟； 4. 电极：采用平行电极构造。上电极铝制，直径大于等于205mm；下电极不锈钢制，直径大于等于205mm; …… |
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3 |
▲感应耦合等离子体刻蚀机 |
1 |
…… 2. 反应真空室：铝制或不锈钢制，内部表面经过防腐蚀处理；至少配备一个观察窗口和一个备用的窗口可以安装终点探测系统；马达驱动真空腔室的开启和闭合；配置干泵和分子泵，分子泵抽速大于等于600升/秒，干泵抽速大于等于600升/分钟； 3. 预真空室：铝制或不锈钢制，手动开启和闭合，通过门阀（gate valve）与反应真空室连接；配置干泵，干泵最大抽速大于等于600升/分钟，该干泵可以与反应真空室干泵共用； …… |
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4 |
▲等离子体去胶机 |
1 |
…… 4. 射频源：13.56MHz，功率大于等于600W，自动匹配，数字显示，可以读出反射功率； …… |
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5 |
▲等离子体增强化学气相沉积 |
1 |
…… 3. 预真空腔：铝制或不锈钢制，通过门阀和反应真空腔联通，通过自动真空机械手传送样品；使用干泵抽真空，该干泵可以与反应真空腔共用，抽速大于等于1300升/分钟； 4. 电极：采用平板电极。上电极铝制，下电极不锈钢制；下电极最高可以加热到400度； …… |
注：
1、“▲”允许提供进口产品，未写明允许采购进口产品，如投标人所投产品为进口产品，其投标将作为无效投标被拒绝。
2、“包”为最小的投标单位，投标人可以投一包，也可以投多包，但不得仅对一个分包内部分品种进行投标。（适用于分包项目）
二、投标人的资格要求：
1.须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定：（1）具有独立承担民事责任的能力；（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（4）具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（5）参加此项采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（6）法律、行政法规规定的其他条件。
2.本项目不接受联合体报价。
3.投标人不得为“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）中列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的投标人，不得为中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加政府采购活动的投标人（以开标现场查询为准）。
三、招标文件的发售时间及地点等：
预算金额：815 万元（人民币）
时间：2019-09-26 09:30 至 2019-10-08 17:00(双休日及法定节假日除外)
地点：北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼13A
招标文件售价：￥200 元，本公告包含的招标文件售价总和
招标文件获取方式：
1.获取招标文件的方式：现场领购
2. 获取招标文件需携带以下资料：
1）法人或者其他组织的营业执照等证明文件，或自然人的身份证明（适用于自然人投标的）的复印件或扫描件加盖公章；
2）经办人需携带法定代表人身份证明书（适用于法定代表人的，加盖投标人公章）或法定代表人授权委托书（适用于非法定代表人的，授权内容需包含其办理本项目购买文件等手续，加盖投标人公章、法定代表人名章或签字），个人有效身份证明文件（居民身份证、护照、军人身份证件、驾驶证其中一项）原件及复印件（加盖投标人单位公章）；
3）如自然人投标的，上述资料仅需签字或人名章即可。
四、投标截止时间：2019-10-16 09:30
五、开标时间：2019-10-16 09:30
六、开标地点：
北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼333会议室
七、采购项目需要落实的政府采购政策
《中华人民共和国政府采购法》（主席令第 68 号）、《关于中国环境标志产品政府采购实施的意见》（财库[2006]90 号）、《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库（2019）9号）、《国务院办公厅关于建立政府强制采购节能产品制度的通知》（国办发[2007]51 号）、《关于开展政府采购信用担保试点工作的通知》（财库[2011]124 号）、《关于印发《政府采购促进中小企业发展暂行办法》的通知》（财库[2011]181 号）、《财政部、司法部关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库[2014]68 号）、《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库[2017]141 号）、《北京市财政局关于进一步完善市级科研仪器设备政府采购管理有关事项的通知》（京财采购[2016]2862号）等。
八、其它补充事宜
1. 项目编号：HCZB2019-254
2. 项目预算金额：人民币8,150,000.00元，超预算报价为无效标。
3. 评标方法和标准：综合评分法。投标报价部分30分；技术部分64分；商务部分6分。
4.由于系统原因，其它未尽事宜详见附件。
5.本公告同时在中国政府采购网和北京政府采购网发布。
公告期限：2019 年9月25日至 2019 年10月8日
