真空腔体采用立式圆桶型、壳体双层水冷夹层结构,上顶盖开启形式,用于泡生法生长光学晶体。设备使用一般使用三氧化二铝作为原料,在高真空下进行晶体生长。设备使用重量传感器进行晶体重量的测量。
系统功能及构成
系统主要由真空炉体、真空抽气机组、称重传感器、晶体提升和旋转系统、加热场系统、电控系统、气路系统、水路系统、生长过程自动控制系统、安装机台等组成。
炉体构成
炉体(真空水冷炉膛):
由优质304L不锈钢制成,圆桶立式双层水冷夹层结构,炉体内壁采用机械抛光。炉体内、外表面经过特殊的真空表面处理工艺进行处理,具有较强的金属质感。
炉盖分为大炉盖和小炉盖及炉底,大盖子上焊接有加热器电源水冷电极板接头一组;上有连接杆接口,小炉盖可以手动提升并有锁死机构;大炉盖可以手动提升及电动提升,整体转动角度大于180°。为加强冷却效果,大小炉盖及炉底都采用标准模具的水冷背板结构。
连接杆工作位移传动装置有加速位移功能。 连接杆旋转传动装置能在水平面上X、Y方向水平移动,以 对准连接杆轴心与坩锅内熔体表面最冷点,保证晶体生长。
晶体生长过程中使用的称重传感器测量晶体重量;
炉体上开有连接多组热电偶大法兰1个,用于安装测量热场装置不同位置温度的热电偶。
炉体侧壁上还开有连接泵接口法兰1个,用于保护气体排气口等。




通过认证 

