多层电镀层厚度测量仪

型号：

DX-320L

测试对像：

粉未、固体、液体

元素分析范围：

钠（Na）－铀（U）

同时最多可测元素：

36种

含量分析范围：

1ppm～99.99%

工作稳定性：

总荧光强度为0.1％

测试时间：

60～200秒

探测器分辨率：

127eV±5

多道分析器：

2048道

X射线光管：

功率50W，靶材可选Ag、Rh、W、Mo

高压电源：

电压范围0~50KV，稳定度每小时小于0.05%

外型尺寸：

660mm×480mm×330mm

测量仓：

440mm×350mm×150mm

重量：

62Kg

最低检出限：

Cd/Cr/Hg/Br≤1ppm,Pb/Sb/Se/Ba≤2ppm,Cl≤5ppm

镀层技术参数：

可测镀层数：

最多可达5层

镀层种类：

单金属镀层、合金镀层

镀层识别精度：

分析检出限可达2ppm，最薄可测试0.005μm。

厚度测试范围：

轻金属（如：Ti、Cr等）0.01～50um

中金属（如：Ni、Cu、Zn、Pd、Ag、Sn等）0.01～30um

重金属（如：Pt、Au、Pb等）0.005～15um

配置

数量

单位

仪器主机部分主要配置

1

套

1. 高分辨率Si-PIN电制冷半导体探测器

1

套

2.低功率X光管

1

个

3. 高压电源

1

个

4. 2048道数字多道分析器

1

套

5. 高精密CCD 

1

个

6. 滤光片组

5

组

7. 准直器：直径为0.2 , 0.5 , 1 , 2 , 6 , 8mm的准直器各一个

6

个

仪器外围配置

计算机：

品牌电脑一台，配19寸液晶

1

台

2. HP彩色喷墨打印机 

1

台

3. 银校正片

1

片

4. 塑料标准样品: EC681K

1

袋

5. 样品杯、麦拉膜

若干

软件配置

RoHS/无卤检测专用软件

1

套