氮气316L不锈钢TEM-911半导体过滤器

GasProTM TEM-500系列滤波器是专门设计的

用于过滤半导体级惰性气体和CDA（清洁干燥空气）。此全焊接组件将提供0.003微米颗粒保留率。聚四氟乙烯膜和聚丙烯支撑滤芯封装在316L不锈钢电抛光焊接外壳中。最后的装配用清洗剂清洗过滤氮气用于初始清洁度。提供多种配件类型，便于安装应用一般和工艺惰性气体设施半导体、平板显示器和其他高纯度应用。

用于关键计量和测试的清洁干燥空气（CDA）以及光刻应用。

*在CDA和其他设施气体过滤应用中，流量，温度、粒子挑战和其他差异每个系统都是无二的，会影响整体过滤性能，并且可能会影响每个过滤器。

TEM-500过滤器在美国制造洁净室，以确保无颗粒，化学清洁、无有机物的搬运和装袋提供高的包装外清洁度。附加预处理是可选的。

多种配件选项易于安装和灵活性。特殊配件选项包括三夹（三叶草）和卫生类型可根据要求提供。

100%氦

100%氦气泄漏测试大于1 x 10-atm cc/秒。

零件号入口/出口配件过滤介质/外壳其他材料*长度（L）

TEM-511 1/4“压缩入口/出口

PTFE/316L不锈钢

律特霍尔TEM-511-6 3/8“压缩入口/出口131.3mm（5.17”）

律特霍尔TEM-511-8 1/2“压缩入口/出口129.0mm（5.08”）

律特霍尔TEM-511-12 3/4“压缩入口/出口142.2mm（5.60”）

律特霍尔TEM-513-8 1/2“端面密封内螺纹入口/外螺纹出口156.0mm（6.14”）

律特霍尔TEM-515 1/4“阳端面密封进口/出口139.7mm（5.50”）

律特霍尔TEM-515-6 3/8“阳端面密封入口/出口156.0mm（6.14”）

律特霍尔TEM-515-8 1/2“阳端面密封入口/出口156.0mm（6.14”）

律特霍尔TEM-515-12 3/4“阳端面密封入口/出口156.0mm（6.14”）

律特霍尔TEM-515-16 1“外螺纹端面密封入口/出口165.1mm（6.50”）

律特霍尔TEM-528-6 3/8“FNPT入口/出口133.4mm（5.25”）

律特霍尔TEM-528-8 1/2“FNPT入口/出口146.6mm（5.77”）

律特霍尔TEM-528-12 3/4“FNPT入口/出口150.9mm（5.94”）

律特霍尔TEM-550-8 1/2“对接焊缝入口/出口137.2mm（5.4”）

律特霍尔TEM-550-12 3/4“对接焊缝入口/出口137.2mm（5.4”）

律特霍尔TEMTEM-815-6半导体过滤器

律特霍尔TEMTEM-815-8半导体过滤器

TEMTEM-815-MS半导体过滤器

TEMTEM-825-6M半导体过滤器

TEMTEM-911半导体过滤器

TEMTEM-915半导体过滤器

TEMTEM-915-8半导体过滤器

TEMTEM-915S半导体过滤器

TEMTEM-1715-8半导体过滤器